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XY200M Plataforma piezoeléctrica

The piezoelectric stage XY200M is based on the APA 200M actuators and posseses a high stiffness. Applications include mask positioning, atomic force or scanning tunneling microscopes.
 
 

Performance:

  • Max No-load displacement (µm): 200
  • Dimensions (mm): 22 x 100 x 100
  • Resolution (nm): 2.0
  • Unloaded resonance frequency (Hz): 580

Opciones disponibles:

  • Strain Gauges
  • Vacuum
  • Eddy current sensor
 
 
 
 
 
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