- Rango de posicionamiento: XY – 600 × 600 mm, Z – 100 mm.
- Repetibilidad bidireccional RMS de ±0,5 µm o mejor.
- Precisión absoluta calibrada de ±1,5 µm o mejor.
- Velocidad >1000 m/s, aceleración >10 000 mm/s2.
- Diseño modular flexible que se puede personalizar.
- Para cualquier requisito de aplicación ultrapreciso.
- Adecuado para aplicaciones con polvo.
- Posibilidad de personalizar el tamaño del sistema y el rango de desplazamiento.
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